本项目聚焦于填补国内工业级高灵敏度MEMS加速度传感器规模化生产的技术空白，旨在实现国产替代和自主可控。产品以小量程、高灵敏度为核心特征，覆盖能源勘探、地震监测、公共安全监测（如高层建筑/桥梁安全）及特种应用三大领域，市场规模预计超100亿元人民币。通过工业化量产（良品率≥70%）替代实验室手工筛选模式，解决国外垄断问题。

1、MEMS数字检波器：量程±0.5g，噪声密度≤40ng/√Hz，24位全数字输出，适用于油气勘探、地震监测。

2、MEMS震动传感器：量程≥2g，噪声密度100ng/√Hz，功耗≤120mW，适用于高层建筑安全监测、油气管线监测等。

3、高灵敏度MEMS芯片设计：采用“三明治”结构及X型交叉梁设计，优化对称性和应力消除能力（如量程±0.5g、噪声密度≤40ng/√Hz）。

4、专用ASIC芯片技术：集成模数混合信号电路和数字闭环系统，实现24位全数字输出、低功耗（≤120mW）及宽温域（-55°C~+125°C）。

5、知识产权：拥有24项发明专利、3项集成电路布图，技术积累超20年，研发周期缩短至直接量产。

1、政策环境：

国家“十四五”规划明确支持MEMS等核心元器件国产替代，传感器被列为产业链安全关键领域，政策红利显著。

2、市场环境：

国内工业级MEMS传感器长期依赖进口，尤其高端领域（如油气勘探）被国外垄断，国产替代需求迫切。

全球MEMS惯性传感器市场规模从2018年28.31亿美元增长至2021年35.09亿美元，预计2027年达49.43亿美元，年复合增长率6.39%。

3、潜在市场规模：

国内市场规模超百亿元，其中油气勘探领域年需求超20亿元，公共安全监测（高层建筑、桥梁等）超60亿元，特种应用超20亿元。